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IH系列半导体真空泵

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Edwards爱德华IH160半导体真空泵维修保养

型号:IH160

重量:244 KG

入口连接:DN 63 ISO-K

极限真空:0.007 mbar

产品简介:IH160半导体真空泵,专为高精密半导体制造设计。经历多年研发,这款泵在微电子行业表现卓越,尤其适用于薄膜沉积与刻蚀过程。其极限真空度达10^-6 Torr,抽速160 L/s,确保工艺环境洁净与高效。IH160的低振动和噪音特性,保障了敏感制程的稳定性。

其它型号: IH80 IH160 IH600 IH1000 IH1800
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