品牌:阿尔卡特高真空技术
单位:个
重量:67660 克
该A3P系列特别设计,以减低营运成本。
涵盖范围广泛的抽水速度,从100m3/h 到1000m3/h,A3P系列每300毫米响应一次,以最低的工作成本达到中等真空要求。
与传统的抽真空方案相比,节省了高达50%的电力消耗,其中以最低的冷却水流量,和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50%的消耗的原因!
特点:
·低公用事业费:1000m3/h 泵只要1.5kW
·紧凑的设计:只有310mm宽
·复合罗茨技术
· 耐腐蚀
·低噪声
·低振动
·与 Semi S2-0706兼容
该A3P系列特别设计,以减低营运成本。
涵盖范围广泛的抽水速度,从100m3/h 到1000m3/h,A3P系列每300毫米响应一次,以最低的工作成本达到中等真空要求。
与传统的抽真空方案相比,节省了高达50%的电力消耗,其中以最低的冷却水流量,和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50%的消耗的原因!
特点:
·低公用事业费:1000m3/h 泵只要1.5kW
·紧凑的设计:只有310mm宽
·复合罗茨技术
·耐腐蚀
·低噪声
·低振动
·与 Semi S2-0706兼容
主要优点:
·降低了总成本
·占地面积小,节省空间
·高可靠性
· 符合半导体加工规则
应用:
·蚀刻(氧化,聚合)
· RTP协议
·分解/灰化
·植入源